基丙烯酸甲酯(PMMA)和三塊尺寸為 7mm×7mm 壓力陶瓷組成。**上層的 PMMA 層有三個(gè)正方形的槽，可以起到隔離的作用。傳送液體的腔體及通道由下層的 PMMA 經(jīng)過兩個(gè)動(dòng)作完成：①系統(tǒng)由一個(gè) 500μm 厚的硅片產(chǎn)生液體傳送通道與空腔，之后一層鋁薄膜噴涂到該硅片薄膜表面上，然后利用傳統(tǒng)的照相平板印刷術(shù)形成一個(gè) 200μm×15μm×7μm 的空腔；②一層很薄的金被汽化后沉積到硅片空腔上，這樣通過硅片薄膜就形成了一個(gè)波形，使得上下層的 PMMA 層相互接觸排出液體。 

(2)  電磁驅(qū)動(dòng) 

電磁驅(qū)動(dòng)蠕動(dòng)泵通過通電產(chǎn)生磁場(chǎng)與泵體內(nèi)的磁體之間相互作用產(chǎn)生的洛倫磁力來驅(qū)動(dòng)，力的大小取決于電流的大小。其特點(diǎn)是工作電壓較低、驅(qū)動(dòng)力較大，由于磁場(chǎng)的存在不需要額外的外界媒介，因此在體積上也有較大的優(yōu)勢(shì)。電磁驅(qū)動(dòng)蠕動(dòng)泵主要由內(nèi)嵌的**性磁鐵和線圈構(gòu)成。當(dāng)外部線圈通電時(shí)，則線圈與磁體之間將產(chǎn)生向上或者向下的洛倫磁力，力的大小隨著電流的變化而變化[6]。在蠕動(dòng)泵的底部分別設(shè)有進(jìn)口和出口，在通電過程中通過泵腔內(nèi)部體積變化而完成吸液和排液過程。 

(3)  氣動(dòng)微泵 

氣動(dòng)微泵主要由致動(dòng)器、硅片振動(dòng)薄膜、密封的液體或氣體及出口、進(jìn)口兩個(gè)閥組成。其原理是通過熱電阻通電對(duì)密封的液體或者氣體加熱，然后進(jìn)行冷卻，利用熱脹冷縮的原理來使得振動(dòng)薄膜受力產(chǎn)生變形，從而實(shí)現(xiàn)液體或者氣體的吸入或者排出。氣動(dòng)微泵的特點(diǎn)是能用較小的電壓獲得較大的振動(dòng)薄膜變形，缺點(diǎn)是由于熱延遲而導(dǎo)致致動(dòng)頻率較低[7, 8]

。 

(4)  靜電驅(qū)動(dòng)式蠕動(dòng)泵 

在 MEMS 研究*域中，靜電驅(qū)動(dòng)得到了快速且廣泛的發(fā)展。靜電驅(qū)動(dòng)式蠕動(dòng)泵的致動(dòng)器由有兩層硅片薄膜構(gòu)成，上方的彈性薄膜作為泵膜，下方的薄膜做成固定的電極。其工作原理類似于電容器，當(dāng)給兩個(gè)電極施加電壓時(shí)，靜力則吸引上層的硅片薄膜偏移；斷電后電容器放電，泵膜慢慢的回到原來的位置，這樣使得密封泵腔內(nèi)的體積產(chǎn)生變化，在外部壓力作用下導(dǎo)致出口與進(jìn)口閥的關(guān)閉與開啟，達(dá)到了液體的定向流動(dòng)效果。靜電驅(qū)動(dòng)的主要特點(diǎn)是功耗低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能達(dá)到較高的工作頻率及可以達(dá)到很小的輸出，其缺點(diǎn)是致動(dòng)的電壓較高，由于薄膜在較大變形時(shí)會(huì)產(chǎn)生波動(dòng)，從而不能達(dá)到高輸出[9, 10]。 

(5)  記憶合金蠕動(dòng)泵 

由 TiNi 合金制得的記憶合金(SMA)在受熱和冷卻時(shí)具有很高的恢復(fù)力和致動(dòng)力，因此通過給 SMA 加熱和冷卻可以提供驅(qū)動(dòng)力。記憶合金蠕動(dòng)泵能產(chǎn)生較大的流速和較大的工作壓力，**大承受壓力可以達(dá)到數(shù)百 KPa，其主要特點(diǎn)是供電電壓低、響應(yīng)速度快、致動(dòng)力大等[11]。 

自從美*學(xué)者 Jon Smiths 在 20 世紀(jì) 80 年代初率先提出研發(fā)出了用于胰島素注射的蠕動(dòng)泵以來，*內(nèi)外涌現(xiàn)了很多不同驅(qū)動(dòng)方式的蠕動(dòng)泵，取得了很大的進(jìn)展。不同的驅(qū)動(dòng)方式的蠕動(dòng)泵所能達(dá)到的輸出流量及背壓大小也不盡相同，如圖 1.1 所示為不同驅(qū)動(dòng)方式的蠕動(dòng)泵的性能對(duì)比[12]，(a)為各種驅(qū)動(dòng)方式下的輸出流量范圍，(b)為各種蠕動(dòng)泵的背壓大小。